拉晶過(guò)程全程自動(dòng)化
在惰性氣體環(huán)境中，用石墨加熱器將硅材料熔化，
用直拉法生長(cháng)無(wú)位錯單晶的設備。
性能優(yōu)勢
設備主體結構優(yōu)化，提高了整機穩定性。
具有拉制12英寸COP FREE半導體單晶硅棒的功能。
采用新型隔離閥。
液面高度監控系統。
高精度傳動(dòng)機構。
雙層水冷套、可升降雙層水冷屏。
| 8英寸半導體級單晶爐 | |||
| 型號 | FT-CZ1200Se | ||
| 場(chǎng)所 | 周?chē)鷾囟?/td> | 15~30℃ | |
| 周?chē)鷿穸?/td> | ≤65%（無(wú)結露，腐蝕氣體） | ||
| 潔凈度 | 10000級凈空房 | ||
| 噪音 | ≤75db | ||
| 地基 | 3000kg/㎡以上 | ||
| 電源 | 額定電壓 | 3P 380VAC±10% 50/60Hz | |
| 額定電容 | 320kVA | ||
| 額定流量 | 500A | ||
| 冷卻水 | 流量范圍 | 350~400L/min | |
| 供給壓力 | 0.3~0.4MPa | ||
| 重量 | 設備高度 | ＜8290mm △ | |
| 設備重量 | 約23T | ||
△ 項數據視上爐筒高度而定，本設備數據不含磁場(chǎng)。
全國熱線(xiàn)
021-36162928
微端咨詢(xún)
在線(xiàn)留言
-
關(guān)于我們
-
產(chǎn)品與服務(wù)
-
應用領(lǐng)域
-
媒體中心
-
聯(lián)系我們
Copyright © 上海漢虹精密機械有限公司 滬ICP備12008363號-1
在線(xiàn)咨詢(xún)
感謝您的關(guān)注，漢虹專(zhuān)屬技術(shù)顧問(wèn)將為您提供服務(wù)
提交
取消
微端咨詢(xún)
掃描二維碼，漢虹專(zhuān)屬技術(shù)顧問(wèn)將為您提供服務(wù)
取消
掃描二維碼，關(guān)注抖音漢虹官方公眾號
取消